Катодное распыление — В книге дается обзор состояния экспериментальных и теоретических исследований катодного распыления. Рассмотрены вопросы практического использования этого явления в науке и технике. Указаны методы борьбы с распылением, когда оно вызывает нежелательные последствия. Монография может оказать помощь инженерно-техническим и научным работникам электронной, электровакуумной, оптической и полупроводниковой промышленности. В ней затрагиваются вопросы, которые могут заинтересовать инженеров-физиков, специалистов в области физики плазмы и твердого тела, металлофизиков и химиков, а также студентов.
Название: Катодное распыление Автор: Плешивцев Н. В. Издательство: Атомиздат Год: 1968 Страниц: 360 Формат: PDF Размер: 32,42 Мб Качество: Отличное
Содержание:
Предисловие Введение. Краткий исторический обзор 1. Методы исследования 2. Характеристики эмиттированных частиц 3. Влияние различных факторов на коэффициент распыления поликристаллов 4. Распыление монокристаллов 5. Взаимодействие ионов с твердыми веществами 6. Теория катодного распыления 7. Применеине катодного распыления 8. Катодное распыление в науке и технике Литература Предметный указатель
